氣體預處理系統是一個復雜的系統，包括多個組件和操作，其中流量控制和測量是非常重要的一項。在工業生產和實驗室研究中，精確的氣體流量控制和測量可以確保實驗結果的準確性和生產質量的穩定性。下面將介紹氣體預處理系統中常用的流量控制和測量方法。
 

　　一、流量控制方法
 

　　1.手動調節閥門
 

　　手動調節閥門是較簡單、較常見的流量控制方法，通常用于低流量和不需要高精度的應用。通過旋轉手柄或輪子，可以開啟或關閉閥門，從而調節氣體流量。這種方法的優點是簡單易用，缺點是控制精度有限。
 

　　2.膜片閥門
 

　　膜片閥門是一種新型的流量控制閥門，通過外加電壓或電流控制薄膜的形狀變化，以達到氣體流量的調節。與傳統的閥門相比，膜片閥門響應速度更快，精度更高，可廣泛應用于實驗室和工業生產。
 

　　3.質量流量控制器
 

　　質量流量控制器是一種高精度的流量控制設備，可在范圍內實現精確的氣體流量控制。它通過測量氣體的質量流量來實現控制，不受壓力和溫度變化的影響。質量流量控制器通常采用微處理器控制，具有自動校準和自診斷功能。
 

　　二、流量測量方法
 

　　1.差壓流量計
 

　　差壓流量計是一種廣泛應用的流量測量設備，它通過測量氣體通過管道時產生的壓差來確定氣體流量。差壓流量計根據其傳感器類型的不同，可以分為孔板、噴嘴、小孔管等幾種類型。它的優點是價格低廉，測量范圍廣，但需要考慮氣體的密度和壓力變化對測量結果的影響。
 

　　2.熱式流量計
 

　　熱式流量計是一種基于熱傳導原理的流量測量設備。它通過加熱器加熱管道內的氣體，然后測量氣體的溫度變化來確定氣體流量。熱式流量計以其高精度、靈敏度和可靠性而聞名，但價格較高，需要考慮氣體的熱容和熱導率等因素。
 

　　3.質量流量計
 

　　質量流量計不僅可作為流量控制器，也可作為流量測量設備。它通過測量氣體的質量流量來確定氣體流量。質量流量計的優點是精度高，響應速度快，不受溫度和壓力變化的影響。
 

　　4.超聲波流量計
 

　　超聲波流量計是一種新型的非接觸式流量測量設備，它通過發送和接收超聲波信號，測量氣體流動速度和方向，從而確定氣體流量。由于沒有流量計的物理干擾，超聲波流量計可用于高純度氣體和腐蝕性氣體的測量，但價格較高。
 

　　在氣體預處理系統中，選擇合適的流量控制和測量方法是非常重要的。根據具體的應用需求，可以選擇適合的設備和方法，從而實現精確、穩定、可靠的氣體流量控制和測量。